隨著各大科技巨頭爭相推出各種AR和VR設(shè)備,進(jìn)而為用戶提供他們期待已久的生動(dòng)明亮的圖像,他們最后都遇到了這樣一個(gè)共同的瓶頸:紅色Micro-LED芯片的開發(fā)。由于材料固有缺陷在器件尺寸非常小時(shí)會(huì)帶來嚴(yán)重影響,目前所有LED的發(fā)光效率都會(huì)隨著器件尺寸的減小而直線下降,這其中,紅色LED尤為明顯。
根據(jù)外媒eetimes報(bào)道,最近,總部位于英國的初創(chuàng)公司Kubos半導(dǎo)體提出了一種他們認(rèn)為可以很好解決該問題的方案。“一直以來,紅色Micro-LED芯片的開發(fā)讓人們夜不能寐,因?yàn)榇蠹叶疾荒茏層糜谒{(lán)色和綠色LED器件制造的傳統(tǒng)氮化鎵材料在更長的紅色波段下有效工作,”Kubos半導(dǎo)體的首席執(zhí)行官Caroline O'Brien表示:“如果希望尋找到一個(gè)突破口,大家就必須要以一種不同的方式看待這個(gè)問題,而這就是我們一直在做的方向。”
那么,紅色Micro-LED芯片的開發(fā)到底遇到了什么問題?實(shí)際問題就是,將典型的藍(lán)色LED從目前的常用尺寸縮小到5微米大小,其發(fā)光效率會(huì)從90%左右驟降到40%左右。雖然出現(xiàn)了很大的降幅,但從應(yīng)用角度來看,這已經(jīng)是能夠接受的了。同樣地情況對(duì)紅色LED來說,其發(fā)光效率會(huì)從60%下驟降到1%左右,如此大的降幅正是目前問題癥結(jié)所在,而造成這種差異的主要原因在于制造這些器件所用的材料不同。
迄今為止,藍(lán)色和綠色LED通常由氮化銦鎵(InGaN)材料制成。不過,當(dāng)開發(fā)商同樣用InGaN材料制造更長波長的紅色LED器件時(shí),材料成分的細(xì)微差別會(huì)在器件的發(fā)光區(qū)域產(chǎn)生強(qiáng)烈的偏振場(chǎng),正是這種偏振場(chǎng)極大降低了發(fā)光效率。因此,大多數(shù)器件制造商開始選擇使用磷化銦鎵(InGaP)半導(dǎo)體材料來制造紅色LED器件。在Micro-LED應(yīng)用及其擴(kuò)展問題出現(xiàn)之前,這種方法一直很有效。
業(yè)內(nèi)一些最有頭腦的人一直在試圖從現(xiàn)有的Micro-LED材料系統(tǒng)中找到解決方案。藍(lán)色激光二極管先驅(qū)、諾貝爾獎(jiǎng)獲得者中村修二和加州大學(xué)圣巴巴拉分校的同事正在從這個(gè)方向出發(fā),以通過最大限度地減少缺陷效應(yīng),來提高InGaN和InGaP材料制成的紅色Micro-LED芯片的性能。Zhe Zhuang和沙特阿拉伯阿卜杜拉國王科技大學(xué)(KAUST)的同事們正在使用一種新的化學(xué)處理方法,以提高他們基于GaN材料開發(fā)的紅色Micro-LED的發(fā)光效率。
實(shí)際上,目前全球范圍內(nèi)的初創(chuàng)企業(yè)也都在將精力集中在紅色Micro-LED的制造上。韓國紫外LED制造商Soft Epi正在通過生長工藝的調(diào)整,來提高GaN基紅色Micro-LED的發(fā)光效率。比利時(shí)Imec的衍生公司Micledi最近宣布成功推出了一款發(fā)出“法拉利紅”色光的AlInGaP Micro-LED芯片。在英國,劍橋大學(xué)的衍生初創(chuàng)公司Porotech開發(fā)了多孔GaN晶圓,他們將其稱為PoroGaN,并認(rèn)為這將是制造可發(fā)出各種顏色光Micro-LED芯片的基礎(chǔ)。另外,Porotech最近還與總部位于威爾士的化合物半導(dǎo)體晶圓供應(yīng)商IQE聯(lián)手開發(fā)晶圓產(chǎn)品。
不過,在這種日益活躍的技術(shù)開發(fā)活動(dòng)中,Kubos半導(dǎo)體公司仍然堅(jiān)持認(rèn)為,通用材料系統(tǒng)是藍(lán)色、綠色和紅色Micro-LED的最終前進(jìn)之路。對(duì)于這家初創(chuàng)公司的高管來說,這種可以贏得未來勝利的材料是另一種GaN。
采取不同的做法
雖然業(yè)界對(duì)GaN的熱愛主要集中在具有六方晶體結(jié)構(gòu)的合金上,但同樣來自加的夫大學(xué)和劍橋大學(xué)的Kubos半導(dǎo)體創(chuàng)始人David Wallis多年來一直在研究一種立方GaN。由于立方GaN具有更高的晶體對(duì)稱性,這種GaN變體能夠不受強(qiáng)極化場(chǎng)的影響,而如前述,正是這種強(qiáng)極化場(chǎng)降低了GaN基紅色LED的發(fā)光效率。
那么,為什么每個(gè)人都關(guān)注具有六方晶體結(jié)構(gòu)的GaN呢?實(shí)際上,早在20世紀(jì)90年代,關(guān)于立方GaN的生長研究開始停滯不前,因?yàn)檫@種材料在熱力學(xué)上可能不穩(wěn)定,這使得在大多數(shù)襯底上高質(zhì)量生長這種材料非常困難。大約在同樣的時(shí)候,六邊形GaN的生長研究開始火熱了,而且隨著器件開發(fā)的步伐加快,大多數(shù)研究人員慢慢開始忘記立方GaN。
不過,Wallis和他的同事堅(jiān)持在一種具有SiC薄層襯底的晶圓上生長立方GaN。英國華威大學(xué)的子公司Anvil半導(dǎo)體公司最先為SiC功率電子器件的開發(fā)人員設(shè)計(jì)硅基SiC襯底。后來,Wallis及其團(tuán)隊(duì)成功地在上述襯底上開發(fā)了一種生長立方GaN的穩(wěn)定工藝,并基于該成果建立了Kubos半導(dǎo)體公司。此后,該公司一直在生產(chǎn)150毫米晶圓,采用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝生長立方GaN。
圖1. 通過晶片探測(cè)測(cè)試的150毫米GaN LED晶圓(圖片來源:Kubos 半導(dǎo)體)
“硅襯底可以與CMOS工藝兼容,由于薄SiC層和立方GaN之間的低晶格失配,我們可以迫使GaN的生長進(jìn)入立方狀態(tài),”O'Brien說道:“隨著SiC功率器件的商業(yè)化,這種SiC薄層的成本將顯著降低,這也讓我們的全套方案,開始能夠與目前使用量子點(diǎn)或在藍(lán)寶石襯底上生長GaN的Micro-LED制造方法競(jìng)爭。”
Kubos打算在更大的200毫米硅基碳化硅晶圓上生長立方GaN,根據(jù)O'Brien的說法,這是“真正的最佳成本點(diǎn)”
Kubos的首席執(zhí)行官Caroline O'Brien認(rèn)為,圍繞其立方GaN工藝積累的無數(shù)專利已經(jīng)讓該公司具有了非常大的商業(yè)優(yōu)勢(shì)。另外她還指出,目前業(yè)界只有少數(shù)幾個(gè)玩家在研究立方氮化鎵,如美國伊利諾伊大學(xué)厄巴納-香檳分校和倫斯勒理工學(xué)院以及德國的帕德博恩大學(xué),而且,這些研究機(jī)構(gòu)目前都還沒有開發(fā)商業(yè)器件。
O'Brien說道:“立方GaN開辟了一個(gè)全新的世界,與生長六邊形GaN的IP雷區(qū)相比,立方GaN是一個(gè)相對(duì)未開發(fā)的空間。”
Kubos最近制造了一款50微米直徑的立方GaN非封裝Micro-LED芯片,它可以發(fā)射紅光。他們希望據(jù)此證明,使用立方GaN方案制造更長波長Micro-LED是可能的。目前,該公司正在增加其晶圓供應(yīng),以便支持客戶定制其專有紅色Micro-LED芯片。據(jù)O'Brien的估計(jì),這些初始LED器件的外部量子效率約為3%。
圖2. Kubos半導(dǎo)體制作的直徑為50微米的綠色、琥珀色和紅色Micro-LED器件。目前他們正在努力提高紅色LED結(jié)構(gòu)的發(fā)光效率(資料來源:Kubos半導(dǎo)體)
O'Brien說:“接近20%的發(fā)光效率目標(biāo)未來是可以實(shí)現(xiàn)的,那時(shí),這種Micro-LED技術(shù)將在延長電池壽命方面變得非常有意義,我相信這一目標(biāo)將在未來5年內(nèi)實(shí)現(xiàn)。”
對(duì)于正在努力生產(chǎn)高分辨率、高亮度AR/VR智能眼鏡的科技巨頭來說,這種技術(shù)和發(fā)光器件無疑將是個(gè)非常大的好消息,同時(shí)它也將讓Kubos半導(dǎo)體公司在未來獲得越來越多的公司垂青甚至收購邀請(qǐng)。
最后,O'Brien說,她的目標(biāo)包括看到這項(xiàng)技術(shù)“被用于各種產(chǎn)品,其中包括傳統(tǒng)的LED照明、通信和Micro-LED。但我確實(shí)認(rèn)為,由于我們行業(yè)的潛在性質(zhì),我們很可能會(huì)被收購。”