近期，密歇根大學宣布在MicroLED制造工藝上取得突破，這項新的工藝意味著你可以在硅上加入尺寸不到1微米的綠色LED，號稱可實現(xiàn)高性能和高穩(wěn)定性。據(jù)悉，這項研究的目的是提升超高分辨率彩色微顯示器的制造工藝，以開發(fā)出適合AR/VR眼鏡的MicroLED技術。

據(jù)青亭網(wǎng)了解，AR/VR眼鏡使用的MicroLED需要非常小巧、低功耗，且具有穩(wěn)定性和高效性。另外，MicroLED單個像素尺寸小于1微米，制造工藝相當復雜，生產(chǎn)過程的缺陷率超過50%，而這將導致額外成本。而為了改善上述問題，科技行業(yè)已經(jīng)投入了大量資金。

目前已經(jīng)可以制造出高效、大面積的藍色和紅色LED，但制造出高效、大面積的綠色LED非常困難，將LED組件尺寸縮減到1微米也具有挑戰(zhàn)性。而為了解決這一問題，密歇根大學教授Zetian Mi和他的團隊開發(fā)了一種亞微米級的III-氮化物綠色MicroLED，其特點是使用了直徑僅100到200納米，間距僅幾納米的納米線陣列。

科研人員表示：由于氮化物材料和硅襯底之間晶格參數(shù)不匹配，會引起絲狀位錯，納米線陣列的功能則是過濾這種絲狀位錯，在硅上可以制造穩(wěn)定的綠色MicroLED。此外，這種綠色LED制造工藝很容易轉(zhuǎn)化為藍色，無需轉(zhuǎn)移就可以將藍色MicroLED集成在硅片上。