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襯底、外延、芯片技術(shù)突破性發(fā)展

字體變大  字體變小 發(fā)布日期:2014-06-23  瀏覽次數(shù):1151
核心提示:采用新技術(shù)和大圓片技術(shù)生長外延,可大幅度降低外延、芯片的制作成本。
     全球外延、芯片企業(yè)有142家,我國投產(chǎn)36家,籌建25家。全球現(xiàn)有MOCVD約2800臺,我國有700多臺,投產(chǎn)400臺左右。2011年全球芯片產(chǎn)量820億只,2012年預(yù)計將達(dá)950億只,芯片產(chǎn)能過剩35%。目前,白光的實驗室光效可達(dá)303 lm/W,產(chǎn)業(yè)化為140~150 lm/W,最近Cree推出了160lm/W的產(chǎn)品。同時,藍(lán)光光效達(dá)到300lm/W,紅光光效達(dá)240 lm/W,綠光光效達(dá)160lm/W。

 圖形化襯底(定向、納米)和半極性、非極性襯底方面,通過改進(jìn)工藝、簡化流程、節(jié)省原料、降低成本等取得了很好的成果;同質(zhì)外延方面,可采用多種方法生產(chǎn)GaN襯底,并在GaN襯底上生長GaN的LED,極大減少了MO源和高純氣體用量,有人預(yù)測可降低成本50%。
     在8英寸的Si襯底上生長GaN,全球有多家公司已投入研發(fā),由于可用現(xiàn)有多余的生產(chǎn)設(shè)備、簡化工藝流程,將大幅度降低成本。同時,Aixtron推出以Si為襯底的外延爐,可嚴(yán)格控制彎曲度,均勻一致生產(chǎn)。這無疑將推動在8英寸的Si襯底上生長外延的進(jìn)程,并可大幅度降低成本。
     日本礙子公司的新外延技術(shù)由于大量減少位錯密度,極大提高了LED性能指標(biāo),取得了突破性進(jìn)展。
     在芯片結(jié)構(gòu)方面,已出現(xiàn)多種新結(jié)構(gòu),較典型的是六面體發(fā)光芯片,并采用多面表面粗化技術(shù),減少界面反射,提高光萃取率,從而提高外量子效率。三星公司采用納米級的六角棱錐結(jié)構(gòu)技術(shù)做出的LED,可實現(xiàn)半極性、非極性生長GaN,散熱好、晶體質(zhì)量好,實現(xiàn)了多色光的白光LED,取得突破性進(jìn)展。
     據(jù)有關(guān)報道,綜合來看,許多外延、芯片的重大技術(shù)創(chuàng)新,大部分是針對提高性能和降低成本的關(guān)鍵技術(shù)問題,所以有機(jī)構(gòu)專家分析預(yù)測,未來10年外延成本將以每年25%的速率降低。
     綜上,由于GaN外延、芯片技術(shù)的不斷突破,采用不同襯底、新結(jié)構(gòu)和納米級技術(shù)等,可生長低位錯的GaN,并做出高光效LED。在沒有波長轉(zhuǎn)換時,其光效可超過300lm/W(理論值可達(dá)400lm/W);采用熒光粉波長轉(zhuǎn)換時,光效可超過200lm/W(理論值可達(dá)263lm/W),還可開拓單芯片發(fā)多色的新技術(shù)路線。同時,采用新技術(shù)和大圓片技術(shù)生長外延,可大幅度降低外延、芯片的制作成本。

 
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